——上海新陽“65-45nm芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項目通過驗收
2015年12月28日，上海新陽承擔(dān)的“65-45nm 芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項目正式驗收會在公司舉行。本次驗收會由國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項”（簡稱“02專項”）實施管理辦公室召集組織。02專項總體專家組組長、中科院微電子研究所所長葉甜春，02專項實施實施管理辦公室、上海市科委高新處處長王曄，任務(wù)驗收專家組長鄭敏政，財務(wù)驗收專家組長秦亮，項目責(zé)任專家、復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院副院長張衛(wèi)教授，用戶代表中芯國際吳正隆等專家領(lǐng)導(dǎo)和來自項目承擔(dān)單位的50余人參加了會議。公司董事長王福祥、副董事長孫江燕、總經(jīng)理方書農(nóng)等高管出席了會議。
與會專家按《國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”項目驗收暫行實施細則》的相關(guān)規(guī)定實施了項目驗收。任務(wù)驗收專家聽取了項目承擔(dān)單位上海新陽項目組長孫江燕及課題承擔(dān)單位復(fù)旦大學(xué)、上海交通大學(xué)、上海集成電路研發(fā)中心有限公司的項目完成情況匯報、現(xiàn)場測試組的測試與資料審查報告，審閱了相關(guān)驗收資料，并進行了現(xiàn)場考察。財務(wù)專家依據(jù)《民口科技重大專項資金管理暫行辦法》等財務(wù)相關(guān)規(guī)定，對照項目預(yù)算書和有關(guān)批復(fù)文件，查看了項目審計報告，抽查了財務(wù)資料，并進行了現(xiàn)場查驗。經(jīng)質(zhì)詢和討論，專家們一致同意項目通過驗收！
會議認為，本項目完成了任務(wù)合同書規(guī)定的研發(fā)內(nèi)容，開發(fā)了面向65-45nm先進銅互連用超高純電鍍液（VMS）、TSV 電鍍液以及相關(guān)芯片銅互連超高純電鍍添加劑，開展了65-45nm 銅互連填充工藝研究、芯片銅互連電鍍技術(shù)與材料性能基礎(chǔ)研究、超高純電鍍液及添加劑的中試驗證評估，各項技術(shù)考核指標(biāo)達到任務(wù)合同書考核要求。項目成果實現(xiàn)了批量生產(chǎn)和產(chǎn)業(yè)化銷售，通過了多條大產(chǎn)線的驗證考核。其中，中芯國際上海公司（8英寸產(chǎn)線）、中芯國際北京公司（12英寸65-55nm產(chǎn)線）、無錫SK海力士（12英寸32nm產(chǎn)線）將項目成果芯片銅互連電鍍液認定為基準(zhǔn)材料（Baseline）！項目共申請發(fā)明專利61項，其中國內(nèi)發(fā)明專利56項，國際發(fā)明專利PCT申請5項，并制定了7項企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。項目建成了年產(chǎn)能達1260噸的高純電鍍液生產(chǎn)線和年產(chǎn)能達150噸的高純電鍍添加劑生產(chǎn)線，完成了任務(wù)合同書規(guī)定的相關(guān)考核指標(biāo)！
上海新陽本項目開發(fā)的“超高純電鍍液及添加劑”難度極大，全球僅有少數(shù)幾家供應(yīng)商能夠?qū)⑵渖虡I(yè)化。上海新陽在該領(lǐng)域的早期探索性研究可以追溯到2003年，經(jīng)過新陽兩代技術(shù)人才的接力奮斗，經(jīng)過漫長的周而復(fù)始的研究、失敗、改進和再研究……在02專項、中芯國際等各方各面的支持下，鍥而不舍的新陽人終于在2013年迎來了成功的曙光，并在中芯國際和無錫SK海力士取代國外供應(yīng)商的電鍍液！
世上無難事，只要肯登攀！今天，我們以較優(yōu)異的成績完成了“65-45nm芯片銅互連超高純電鍍液及添加劑研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項目。明天，我們將全力以赴完成下一個研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化任務(wù)！不辜負02專項、黨和國家對我們的厚望！
